當(dāng)前，
阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為為臥式和立式兩種。它的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，葉片將動(dòng)量傳給氣體分子。葉片高速旋轉(zhuǎn)，其周邊的線速度一般200~300m/s，相當(dāng)于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級(jí)。上級(jí)葉片輸送過來的氣體分子又會(huì)收到下級(jí)葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級(jí)。因此，渦輪分子泵的的一個(gè)特點(diǎn)是對(duì)一般氣體的抽出極為有效。例如對(duì)于氮?dú)猓鋲嚎s比可以達(dá)到109但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103。
由于渦輪分子泵對(duì)于氣體的壓縮比很好，因此工作時(shí)油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計(jì)。渦輪分子泵的極限真空度能達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級(jí)，抽速可以達(dá)到1000L/s，達(dá)到最大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間，因此在使用時(shí)要以旋片機(jī)械泵作為其前級(jí)泵。
阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的注意事項(xiàng)：
1、不能在前級(jí)泵工作時(shí)（前級(jí)管路接通）和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸氣迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。
2、分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。
3、選擇系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。
4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。
5、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。
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